活性炭的作用主要是去除大分子有機物、鐵氧化物、余氯等物質。有機物、余氯、鐵氧化物易使交換樹脂中毒，而余氯、陽離子表面活性劑等還會破壞膜結構，使反滲透膜失效。

樹脂“抱團”現象是指混床中陰陽離子樹脂混合在一起時，由于陽離子樹脂脫下來的H+離子與陰離子樹脂脫下來的OH-離子互相結合成水，陽離子樹脂失去一些陽離子而顯負電性，陰離子樹脂失去一些陰離子而顯正電性，這兩種帶異性電荷的樹脂小球會互相吸引成團狀。

預處理裝置主要由原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、保安過濾器等組成。其主要作用是降低原水的污染指數、余氯等其他雜質，達到反滲透的進水要求。

拋光樹脂是由氫型強酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強堿性陰離子交換樹脂混合而成，一般用于超純水系統的末端，經過拋光樹脂精處理后的水質能達到18兆歐以上，并對TOC、SIO2有一定的抑制。

目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

預處理必須能夠去除原水中的絕大多數雜質以滿足反滲透進水要求，確保產水水質達標、產水量穩定、系統回收率長期維持不變、延長反滲透膜使用壽命等。

壓力表：主要設在泵前、泵后、濃水、產水側，顯示反滲透裝置的運行壓力，根據壓力數值判斷膜及濾芯是否堵塞。

水在加熱過程中，由于蒸發濃縮，水中的金屬陽離子同陰離子結合在一起，形成水垢附著在受熱面上，水中這些金屬離子的總濃度稱為水的硬度。

超純水廣泛應用于電子芯片、醫藥生物、精細化工等其他行業，理論電阻率最高為18.25 MΩ·cm。 在EDI裝置后，通常配備拋光混床作為最終的精處理裝置，設計流速一般為40-60m/h。